近日,我司一批全自动双管立式炉顺利交付客户,此设备为真萍科技独立研发与制作,并获得国家专利。
立式炉是通过微电脑控制炉管内温度,并往内充氮气,使晶圆可以在高温微量氧含量下的洁净空间,对PI胶进行烘烤固化的设备。产品用途范围广泛,适用于集成电路圆片胶, BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别;集成电路圆片快速退火等。其产品特点为:
1.一体式人机操作系统,连续式自动化生产,工作效率高,节约人工成本、电能及工艺时间。
2.FEC加热,升温迅速且均匀度好。
3.优质不锈钢材质,表面经物理及化学抛光处理,确保洁净度。
4.自带自清洁功能——高温清洁。
控制系统:人机界面采用触摸屏方式,核心控制器采用嵌入式控制器,超温保护为独立检测器件,具有氧含量检测功能,运动控制为伺服/步进控制单元,传输为专业晶元传输机器人,软件具有温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示等功能。
未来,真萍将继续强化技术引领,以专业优势,为行业顾客提供优质的产品解决方案和服务。
真萍科技作为专业的设备制造厂商,可根据客户需求定制您需要的满意产品,有需求的客户详情请咨询400-608-2908或搜索真萍科技了解更多信息。