浏览器自带分享功能也很好用哦~产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间；
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好；
3.优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度；
4.自带自清洁功能——高温清洁。
技术参数
处理产品 | 8/12inch 晶圆 | 处理量 | 75PCS/管，共150PCS | |||
加热器 | 圆形FEC加热板 | |||||
上料口 | 4个 | 机械手 | 1 | |||
温度范围 | 长期使用温度: 350℃，最高温度：750℃ | |||||
升温速率 | ＜8℃/min | 降温速率 | ＜7℃/min | |||
加热功率 | 30kW(单炉)*2 | 加热温区 | 3个*2 | |||
炉温均匀性 | ±2℃（350℃恒温） | 控温热偶 | K分度 | |||
温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |||
炉膛材料 | 石英 | 保温材料 | 陶瓷纤维 | |||
气氛控制 | 多路流量计调节进气； 流量计量程： 1）0-150L/min 氮气 2）0-40L/min 氧气 | 气氛 | N2/O2 | |||
排气系统 | 在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收 | |||||
控制系统
*人机界面采用触摸屏方式
*核心控制器采用嵌入式控制器
*超温保护为独立检测器件
*具有氧含量检测功能
*运动控制为伺服/步进控制单元
*传输为专业晶元传输机器人
*软件具有功能：温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示
产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间；
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好；
3.优质不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度；
4.自带自清洁功能——高温清洁。
技术参数
处理产品 | 8/12inch 晶圆 | 处理量 | 75PCS/管，共150PCS | |||
加热器 | 圆形FEC加热板 | |||||
上料口 | 4个 | 机械手 | 1 | |||
温度范围 | 长期使用温度: 350℃，最高温度：750℃ | |||||
升温速率 | ＜8℃/min | 降温速率 | ＜7℃/min | |||
加热功率 | 30kW(单炉)*2 | 加热温区 | 3个*2 | |||
炉温均匀性 | ±2℃（350℃恒温） | 控温热偶 | K分度 | |||
温度控制方式 | SSR | 程序控制 | P.I.D控制 | |||
炉膛材料 | 石英 | 保温材料 | 陶瓷纤维 | |||
气氛控制 | 多路流量计调节进气； 流量计量程： 1）0-150L/min 氮气 2）0-40L/min 氧气 | 气氛 | N2/O2 | |||
排气系统 | 在顶部设置排气烟囱，用于废气排放,回收 | |||||
控制系统
*人机界面采用触摸屏方式
*核心控制器采用嵌入式控制器
*超温保护为独立检测器件
*具有氧含量检测功能
*运动控制为伺服/步进控制单元
*传输为专业晶元传输机器人
*软件具有功能：温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示
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